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在半導(dǎo)體芯片制造、柔性顯示面板生產(chǎn)、新能源電池封裝等高級制造領(lǐng)域,薄膜厚度的均勻性是決定產(chǎn)品性能與良率的核心指標(biāo)。傳統(tǒng)測量方法受限于機(jī)械定位速度與單點(diǎn)檢測模式,難以滿足現(xiàn)代產(chǎn)線對"實(shí)時、全域、高速"的質(zhì)量控制需求。而新一代自動化厚度測量儀憑...
在半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜、新能源材料等精密工業(yè)領(lǐng)域,薄膜厚度的均勻性與精確性直接決定了產(chǎn)品性能與良率。傳統(tǒng)薄膜厚度測量依賴手動定位或固定點(diǎn)檢測,存在效率低、數(shù)據(jù)覆蓋不全、人為誤差大等痛點(diǎn)。而搭載電動R-Theta平臺的薄膜厚度測量儀,通過極坐標(biāo)自動化掃描與高精度定位,實(shí)現(xiàn)了從“單點(diǎn)抽檢”到“全域測繪”的跨越,為工業(yè)質(zhì)量控制提供了革命性解決方案。一、R-Theta平臺:極坐標(biāo)掃描的精密之基電動R-Theta平臺由旋轉(zhuǎn)(Theta)與徑向移動(R)雙軸構(gòu)成,可模擬極坐標(biāo)系下的精準(zhǔn)運(yùn)...
在半導(dǎo)體制造與微電子領(lǐng)域,晶圓表面涂層厚度的精確控制直接決定了器件性能與良率。傳統(tǒng)膜厚測量方法依賴人工取樣或離線檢測,存在效率低、破壞性、數(shù)據(jù)片面性等痛點(diǎn)。而光學(xué)膜厚儀憑借其非接觸、高精度、全自動化測繪能力,已成為晶圓涂層厚度檢測的核心工具,推動行業(yè)向智能化、高效化轉(zhuǎn)型。1.技術(shù)原理:干涉光譜解碼薄膜厚度光學(xué)膜厚儀的核心技術(shù)基于光的干涉與反射原理。當(dāng)寬帶白光垂直入射至晶圓涂層時,光線在涂層表面與基底界面分別反射,兩束反射光因光程差產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。通過分光儀捕捉干涉光譜,儀器可解...
光學(xué)膜厚儀作為現(xiàn)代材料科學(xué)中至關(guān)重要的精密測量工具,其核心原理基于光的干涉現(xiàn)象與薄膜光學(xué)特性。當(dāng)一束光波照射至透明或半透明薄膜表面時,部分光在膜層上表面反射,另一部分穿透膜層后在下表面反射,兩束反射光因光程差產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。通過分析干涉圖樣的光強(qiáng)分布與相位變化,可精確推導(dǎo)出薄膜的物理厚度與光學(xué)參數(shù)。一、干涉原理的數(shù)學(xué)表達(dá)干涉現(xiàn)象的本質(zhì)是光波的相位疊加。當(dāng)兩束反射光的光程差為波長的整數(shù)倍時,發(fā)生建設(shè)性干涉,光強(qiáng)達(dá)到極大值;當(dāng)光程差為半波長的奇數(shù)倍時,發(fā)生破壞性干涉,光強(qiáng)降至最小值...
在柔性電子、半導(dǎo)體制造及新能源材料研發(fā)領(lǐng)域,薄膜電阻的精確測量是評估材料性能的核心指標(biāo)。Delcom20J3STAGE薄膜電阻測量儀憑借其非接觸式渦流技術(shù)、高精度傳感器及智能化軟件系統(tǒng),成為行業(yè)實(shí)驗室與產(chǎn)線的關(guān)鍵設(shè)備。以下從操作流程、核心功能及行業(yè)應(yīng)用三個維度,解析其高效使用方法。一、設(shè)備安裝與基礎(chǔ)配置1.機(jī)械結(jié)構(gòu)組裝儀器臺采用13毫米聚甲醛樹脂與鋁支架制成,尺寸為55×47×8cm,重量10kg。安裝時需將傳感器固定于儀器臺下方平臺,通過兩個螺釘完成快速定位。臺面提供46×...
光學(xué)顯微鏡適配器通過多通道光路設(shè)計、智能濾光片切換系統(tǒng)及環(huán)境光控制技術(shù),有效破解熒光與明場成像沖突,實(shí)現(xiàn)兩種觀察方式的無縫切換與高質(zhì)量成像,具體分析如下:多通道光路設(shè)計:獨(dú)立傳輸與干擾隔離適配器采用分光棱鏡與可調(diào)濾光片模塊,構(gòu)建獨(dú)立的光路傳輸通道。熒光激發(fā)光(如488nm激光)與明場照明光通過不同路徑傳輸,避免光路串?dāng)_。例如,在活細(xì)胞動態(tài)觀測中,適配器可同時獲取細(xì)胞形態(tài)(明場)與分子標(biāo)記(熒光)信息,且兩種信號互不干擾,成像清晰度顯著提升。智能濾光片切換系統(tǒng):快速響應(yīng)與精準(zhǔn)匹...