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精準(zhǔn)把控薄膜厚度,膜厚測(cè)量?jī)x標(biāo)準(zhǔn)化操作全流程解析
2025-08-18

膜厚測(cè)量?jī)x是半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、材料科學(xué)等領(lǐng)域的關(guān)鍵檢測(cè)設(shè)備,其測(cè)量精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與工藝優(yōu)化。本文以常見(jiàn)接觸式(如臺(tái)階儀)與非接觸式(如光譜橢偏儀)儀器為例,系統(tǒng)梳理從儀器校準(zhǔn)到數(shù)據(jù)處理的完整操作步驟,助力用戶高效獲取可靠數(shù)據(jù)。一、操作...

  • 2020-10-26

    FilmSenseFS-1多波長(zhǎng)橢偏儀使用長(zhǎng)壽命LED光源設(shè)計(jì),使用壽命大于5000小時(shí),同時(shí)FS-1的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)沒(méi)有轉(zhuǎn)動(dòng)部件以確保設(shè)備的穩(wěn)定性??偟膩?lái)講,F(xiàn)S-1是一臺(tái)簡(jiǎn)單易用的緊湊型設(shè)計(jì)的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測(cè)量。FilmSense橢偏儀的優(yōu)點(diǎn):1、沒(méi)有復(fù)雜的軟件設(shè)置和維護(hù)。2、測(cè)量精度只有用本儀器才能達(dá)到。3、快速多次測(cè)量(多波長(zhǎng)數(shù)據(jù)在10毫秒)且長(zhǎng)期可靠性。4、長(zhǎng)壽命(50000小時(shí)),不用頻繁更換昂貴的燈泡,或定時(shí)校正或周期維護(hù)。5、器對(duì)薄膜Δ參數(shù)相位差極...

  • 2020-10-22

    Herz氣浮式被動(dòng)隔振臺(tái)采用了先進(jìn)的減振技術(shù),其技術(shù)參數(shù)和減振效果如下:Herz氣浮式被動(dòng)隔振臺(tái)技術(shù)參數(shù):1、減振方式:垂直方向-HERZ減振空氣彈簧,水平方向-Herz高性能水平振動(dòng)隔離系統(tǒng);2、空氣彈簧數(shù):4-6;3、阻尼方式:垂直方向通過(guò)節(jié)流孔進(jìn)行空氣阻尼,水平方向采用特殊橡膠的高性能阻尼;4、固有頻率:垂直方向約1.3Hz/水平方向約0.6Hz(搭載均等大重量時(shí));5、調(diào)平方式:帶有3個(gè)機(jī)械式自動(dòng)調(diào)平傳感器;6、供氣方式:需要外部氣源;7、所需氣壓:0.3~0.7MP...

  • 2020-10-19

    美國(guó)Microsense位移傳感器具有一系列顯著的特點(diǎn),使其在各種應(yīng)用場(chǎng)合中表現(xiàn)出色。以下是關(guān)于Microsense位移傳感器特點(diǎn)的一些詳細(xì)介紹:1.高準(zhǔn)確性與靈敏性:該傳感器具備高準(zhǔn)確性的測(cè)量能力,其高精度可達(dá)0.5nm,這使得它在需要精確測(cè)量的場(chǎng)合中表現(xiàn)出色。此外,它的高靈敏性也確保了即使在微小的位移變化下,也能產(chǎn)生明顯的信號(hào)響應(yīng)。2.優(yōu)化的近距離測(cè)量:Microsense位移傳感器特別適用于近距離測(cè)量,其測(cè)量距離在10微米到5毫米之間,這使得它在微小物體或結(jié)構(gòu)的位移測(cè)量...

  • 2020-10-13

    在精密制造、半導(dǎo)體、汽車涂裝等工業(yè)領(lǐng)域,膜層厚度的精準(zhǔn)控制是決定產(chǎn)品質(zhì)量的核心要素之一。膜厚測(cè)量?jī)x作為現(xiàn)代工業(yè)檢測(cè)的“火眼金睛”,憑借其高精度、高效率與智能化特性,已成為生產(chǎn)線上不可少的關(guān)鍵設(shè)備。本文將深入解析膜厚測(cè)量?jī)x的核心優(yōu)勢(shì)、技術(shù)原理及快速安裝指南,助您掌握這一精密儀器的應(yīng)用精髓。一、膜厚測(cè)量?jī)x的核心優(yōu)勢(shì)??1.高精度與寬量程覆蓋??納米級(jí)分辨率??:采用光學(xué)干涉或X射線熒光技術(shù),部分型號(hào)可達(dá)±0.1nm精度(如半導(dǎo)體光刻膠檢測(cè))。寬范圍適配??:支持從納...

  • 2020-10-09

    EVG510-晶圓鍵合機(jī)是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),可以處理從碎片到200mm的基板尺寸。該工具支持所有常見(jiàn)的晶圓鍵合工藝,例如陽(yáng)極,玻璃粉,焊料,共晶,瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計(jì)允許對(duì)不同的晶圓尺寸和工藝進(jìn)行快速便捷的重新工具化,轉(zhuǎn)換時(shí)間不到5分鐘。EVG510-晶圓鍵合機(jī)特征:1.壓力和溫度均勻性。2.兼容EVG機(jī)械和光學(xué)對(duì)準(zhǔn)器。3.靈活的設(shè)計(jì)和配置,用于研究和試生產(chǎn)。4.將單芯片形成晶圓。5.各種工藝(共晶,焊料,TLP,直接鍵合)。6.可選的渦輪...

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