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膜厚測量儀是半導體、光學鍍膜、材料科學等領(lǐng)域的關(guān)鍵檢測設(shè)備，其測量精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與工藝優(yōu)化。本文以常見接觸式（如臺階儀）與非接觸式（如光譜橢偏儀）儀器為例，系統(tǒng)梳理從儀器校準到數(shù)據(jù)處理的完整操作步驟，助力用戶高效獲取可靠數(shù)據(jù)。一、操作...
掩模對準光刻系統(tǒng)與我們的生活息息相關(guān)，我們用的手機，電腦等各種各樣的電子產(chǎn)品，里面的芯片制作離不開光科技束。如今的世界是一個信息社會，各種各樣的信息流在世界流動。而光刻系統(tǒng)是保證制造承載信息的載體。在社會上擁有不可替代的作用。光刻系統(tǒng)的技術(shù)原理：掩模對準光刻就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來。利用光刻機發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光，光刻膠見光后會發(fā)生性質(zhì)變化，從而使光罩上得圖形復印到薄片上，從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻的作用，類似照相機...
在過去的40年，我們發(fā)展成為隔振臺的供應(yīng)商，并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗。與此同時，測量技術(shù)有了很大的進步，一些靈敏的設(shè)備會受被動式隔振臺中低頻共振頻率的干擾，只有主動式隔振臺能消除此類干擾。因此，我們在被動式隔振臺產(chǎn)品之外，補充了由瑞士TableStableLtd.開發(fā)的先進主動式隔振臺。隔振臺的描述：調(diào)整腳，焊接鋼框架。1、薄膜空氣彈簧BiAi產(chǎn)處于框架和需要隔振的平臺之間（垂直固有頻率2.3Hz）2、機械氣動定位控制（精度土1/lOOmm或土1/lOmm）特點：1、固有振...
Thetametrisis膜厚測量儀用于氧化釔（Y?O?）涂層厚度測量。它可快速準確地繪制大型氧化鋁陶瓷圓盤上的抗等離子涂層Y?O?層厚度。下面我們來看看用Thetametrisis膜厚測量儀測量氧化釔（Y?O?）涂層厚度的具體情況。Thetametrisis膜厚測量儀測量氧化釔（Y?O?）的案例分析：氧化釔（Y?O?）是一種非常有前景抗等離子涂層材料，且在集成電路中特征尺寸的持續(xù)減小應(yīng)用在化學機械拋光后的高度平整工藝用作化學機械平面化（CMP）的磨料，具有獷泛的應(yīng)用范圍。氧...
硅片厚度測量儀是采用紅外干涉技術(shù)的一款測量儀器。它能夠精確測量硅片厚度和測量TTV總厚度變化，也能實時測量超薄晶圓厚度（掩膜過程中的晶圓），硅片厚度測試儀非常適合晶圓的研磨、蝕刻、沉淀等厚度測量應(yīng)用。硅片厚度測量儀具有突出優(yōu)勢，諸多材料例如Si、GaAs、InP、SiC、玻璃、石英以及其他聚合物在紅外光束下都是透明的，非常容易測量，標準的測量空間分辨率可達50微米，更小的測量點也可以做到。目前，儀器可廣泛用于MEMS、晶圓、電子器件、膜厚、激光打標雕刻等工序或器件的測量。該硅...
電容式位移傳感器基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對的被測物體。如果有穩(wěn)定交流電通過傳感器，輸出交流電的電壓會與傳感器到被測物體之間的距離成正比關(guān)系，從而可以通過測量電壓的變化得到距離信息。電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。實際應(yīng)用當中電容式傳感器可以實現(xiàn)近乎的線性測量。但是，電容傳感器要求探...