當(dāng)前位置：首頁(yè) > 技術(shù)文章
膜厚測(cè)量?jī)x是半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、材料科學(xué)等領(lǐng)域的關(guān)鍵檢測(cè)設(shè)備，其測(cè)量精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與工藝優(yōu)化。本文以常見(jiàn)接觸式（如臺(tái)階儀）與非接觸式（如光譜橢偏儀）儀器為例，系統(tǒng)梳理從儀器校準(zhǔn)到數(shù)據(jù)處理的完整操作步驟，助力用戶(hù)高效獲取可靠數(shù)據(jù)。一、操作...
在半導(dǎo)體制造的精密世界里，硅片膜層厚度的微小偏差都可能導(dǎo)致器件性能衰減甚至失效。傳統(tǒng)接觸式測(cè)量方法因易劃傷晶圓表面、無(wú)法實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等問(wèn)題，逐漸被非接觸式技術(shù)取代。近紅外光（NIR）憑借其特殊的物理特性，成為硅片厚度測(cè)量?jī)x的核心光源，為芯片制造、光伏產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域提供了兼具速度與精度的解決方案。一、穿透性與低吸收：NIR破解多層膜“透明迷宮”硅片表面常沉積有氧化硅、氮化硅、多晶硅等多層薄膜，傳統(tǒng)可見(jiàn)光易被膜層吸收或反射，導(dǎo)致測(cè)量信號(hào)失真。近紅外光（波長(zhǎng)范圍780-2500nm）的能量...
動(dòng)態(tài)激光干涉儀作為現(xiàn)代精密測(cè)量領(lǐng)域的儀器，其核心技術(shù)體系融合了光學(xué)、電子學(xué)和計(jì)算機(jī)科學(xué)的創(chuàng)新成果。該系統(tǒng)通過(guò)激光干涉原理實(shí)現(xiàn)納米級(jí)動(dòng)態(tài)測(cè)量，在半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)和超精密加工等領(lǐng)域具有不可替代的作用。一、核心測(cè)量原理基于遜干涉儀的光路架構(gòu)，采用頻率穩(wěn)定的氦氖激光源（波長(zhǎng)632.8nm），通過(guò)分束鏡產(chǎn)生參考光和測(cè)量光。當(dāng)測(cè)量光經(jīng)運(yùn)動(dòng)目標(biāo)反射后與參考光干涉，形成的明暗條紋變化被高靈敏度光電探測(cè)器捕獲。位移量計(jì)算公式為：ΔL=N×λ/2其中N為條紋計(jì)數(shù)，λ為激光波長(zhǎng)。采用四象限探測(cè)...
在工業(yè)設(shè)備減振領(lǐng)域，減振臺(tái)座的高度設(shè)計(jì)常被視為"隱形調(diào)節(jié)閥"，其微小變動(dòng)可能引發(fā)系統(tǒng)減振性能的連鎖反應(yīng)。通過(guò)解析臺(tái)座高度與振動(dòng)傳遞路徑、固有頻率、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性的動(dòng)態(tài)關(guān)系，可揭示這一參數(shù)在低頻振動(dòng)控制中的核心價(jià)值。一、高度與振動(dòng)能量的博弈法則當(dāng)臺(tái)座高度從常規(guī)的150mm增至300mm時(shí)，振動(dòng)傳遞路徑長(zhǎng)度增加1倍，能量衰減效率提升約15%。這種物理優(yōu)勢(shì)在低頻振動(dòng)場(chǎng)景中尤為顯著：某石化企業(yè)離心泵項(xiàng)目中，通過(guò)將臺(tái)座高度從設(shè)備高度的1/10調(diào)整至1/6，成功將10Hz以下振動(dòng)幅值降低22...
在半導(dǎo)體芯片制造、柔性顯示面板生產(chǎn)、新能源電池封裝等高級(jí)制造領(lǐng)域，薄膜厚度的均勻性是決定產(chǎn)品性能與良率的核心指標(biāo)。傳統(tǒng)測(cè)量方法受限于機(jī)械定位速度與單點(diǎn)檢測(cè)模式，難以滿足現(xiàn)代產(chǎn)線對(duì)"實(shí)時(shí)、全域、高速"的質(zhì)量控制需求。而新一代自動(dòng)化厚度測(cè)量?jī)x憑借每秒兩個(gè)點(diǎn)的測(cè)繪能力，以"動(dòng)態(tài)掃描"替代"靜態(tài)抽檢"，正在掀起一場(chǎng)薄膜檢測(cè)技術(shù)的效率革命。一、極速測(cè)繪：技術(shù)突破的底層邏輯每秒雙點(diǎn)測(cè)繪的實(shí)現(xiàn)，源于多維度技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新：1.并行檢測(cè)架構(gòu)：采用雙探頭陣列或分時(shí)復(fù)用技術(shù)，在機(jī)械臂移動(dòng)間隙完成數(shù)據(jù)...
在半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜、新能源材料等精密工業(yè)領(lǐng)域，薄膜厚度的均勻性與精確性直接決定了產(chǎn)品性能與良率。傳統(tǒng)薄膜厚度測(cè)量依賴(lài)手動(dòng)定位或固定點(diǎn)檢測(cè)，存在效率低、數(shù)據(jù)覆蓋不全、人為誤差大等痛點(diǎn)。而搭載電動(dòng)R-Theta平臺(tái)的薄膜厚度測(cè)量?jī)x，通過(guò)極坐標(biāo)自動(dòng)化掃描與高精度定位，實(shí)現(xiàn)了從“單點(diǎn)抽檢”到“全域測(cè)繪”的跨越，為工業(yè)質(zhì)量控制提供了革命性解決方案。一、R-Theta平臺(tái)：極坐標(biāo)掃描的精密之基電動(dòng)R-Theta平臺(tái)由旋轉(zhuǎn)（Theta）與徑向移動(dòng)（R）雙軸構(gòu)成，可模擬極坐標(biāo)系下的精準(zhǔn)運(yùn)...