隨著納米技術(shù)的進步和薄膜工藝的發(fā)展(太陽能電池，CVD，PVD，DLC，MEMS等)，納米力學(xué)測試已成為標準方法。這種方法改進了傳統(tǒng)硬度測試的不足，通過J尖的壓劃頭，高的空間分辨率和較精確的原位載荷-位移數(shù)據(jù)，可以較精確測量小載荷和淺壓痕條件下的材料力學(xué)測試。
 

　　納米壓痕- 單一/多次壓痕，根據(jù)ISO14577測量薄膜、涂層和塊體材料的硬度，楊氏模量，拉伸和von Mises應(yīng)力，接觸剛度等。
 

　　納米劃痕- 采用恒定、漸進和用戶自定義可編程加載方式，評價薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕附著力。
 

　　納米壓痕儀主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲模量及損耗模量等特性。
 

　　還同時具備了納米測試系統(tǒng)所具有的豐富的測量模式，如恒應(yīng)變速率加載、視頻定位壓入、沖擊模式等。通過納米力學(xué)平臺的設(shè)計，客戶可以選擇其它豐富的選件構(gòu)建全套的納米力學(xué)綜合測試系統(tǒng)。如AFM原子力顯微鏡同步成像、微米壓痕模塊、微米或納米劃痕模塊、微納米摩擦磨損模塊、變溫、濕度控制、真空環(huán)境等等。
 

　　納米壓痕儀可適用于有機或無機、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機材料等。